《六十年代研究员陆芳芳》第262章
这一次光学研究所的目标还是非常大了，想直接将步进扫描投影曝光机，准备将集成电路图形的线宽缩小到0.35 μm的节点。波长能达到193nm, 光学光刻分辨率争取能达到70nm的极限，目标很宏大, 自然需要的时间也不少。 限制芯片大小的主要关机就是在于光刻系统能获得的分辨率有关, 而提升分辨率最有效的方法就是减小照射光源的波长, 因此这个项目的关键就是开发和寻找新型的短波长的光源, 研究不同的光源本来就是光学研究所的重要任务, 所以这一次他们项目的重点也就是找到只有193nm甚至是要比这个数字更短的光源。 而这项任务除了本身的研究实力, 大量的实验之外, 自然还需要不少运气了, 陆见倒是记得光刻机的几种光源, 大概是激光、紫外光、深紫外光，还有极紫外光, 而极紫外...
《六十年代研究员陆芳芳》章节列表
- 第1章 你好66年
- 第2章 初试
- 第3章 复试
- 第4章 录取
- 第5章 知青来了
- 第6章 家庭会议
- 第7章 计分员
- 第8章 书中世界
- 第9章 第9章
- 第10章 入职前时光
- 第11章 报到
- 第12章 第一次讲课
- 第13章 御厨
- 第14章 项目书
- 第15章 吴厂长
- 第16章 车间之行
- 第17章
- 第18章 机床保养
- 第19章 被审问
- 第20章
- 第21章
- 第22章 22章
- 第23章
- 第24章
- 第25章
- 第26章
- 第27章
- 第28章
- 第29章
- 第30章
- 第31章
- 第32章
- 第33章
- 第34章
- 第35章
- 第36章
- 第37章
- 第38章
- 第39章
- 第40章
- 第41章
- 第42章
- 第43章
- 第44章
- 第45章
- 第46章
- 第47章
- 第48章
- 第49章
- 第50章
- 第51章
- 第52章
- 第53章
- 第54章
- 第55章
- 第56章 小番外
- 第57章
- 第58章
- 第59章
- 第60章
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